實驗室凈化的溫濕度控制
發(fā)布時間:2021-04-06 瀏覽次數(shù):4162
實驗室凈化的溫濕度控制
1.潔溫度控制。實驗室凈化的具體控制方案為:實驗室凈化內(nèi)的回風夾道處安裝冷水盤管,實驗室凈化下架層的格構(gòu)梁上安裝有溫度傳感器,對應(yīng)區(qū)域回風夾道處冷水盤管的中溫冷凍水(14℃)管道上安裝有電動調(diào)節(jié)閥,每個區(qū)域的溫度與此電調(diào)節(jié)閥構(gòu)成閉環(huán)控制,用控制盤管內(nèi)中溫水流量來控制對應(yīng)區(qū)域的溫度,此PID加適當微分,用以克服溫度傳感器的滯后性。
2.濕度控制。實驗室凈化溫度控制穩(wěn)定后,濕度控制也非常重要,過高容易結(jié)露,過低則容易產(chǎn)生靜電,都會影響液晶面板的良率,因此55%±5%的相對濕度是控制的一個目標。但對于如此大型的潔凈廠房直接加濕和除濕是不現(xiàn)實的,于是采用非潔凈區(qū)的新風機組通過不停補新風的置換來控制。潔凈間溫度23℃,濕度55%的空氣通過查詢焓濕圖可知,此時露點溫度為13.5℃,那么理論上新風機組只要將送風的露點控制在13.5℃即可,如果潔凈間濕度偏高,可以送低于13.5℃露點的新風,反之送高于13.5℃露點的新風,所以實驗室凈化濕度控制的關(guān)鍵在于新風機組送風露點的控制。
4.電氣、儀表設(shè)計。項目PLC控制系統(tǒng)采用羅克韋爾自動化公司的14套冗余的ControlLogix控制器,I/O硬點9785個,溫濕度傳感器:每個分廠實驗室凈化面積大概在3萬多m2,平均每500m2范圍內(nèi)安裝一溫濕度一體的傳感器,用以直接監(jiān)視實驗室凈化內(nèi)溫濕度(不參與控制,選用兩線制儀表。溫度傳感器:安裝于潔凈間下夾層格構(gòu)梁上,PID設(shè)定值23℃,可以確保氣流經(jīng)生產(chǎn)區(qū)直接吹下來的溫度穩(wěn)定在23℃。
總之,要控制好實驗室凈化工程的溫濕度不是很容易的,濕度控制比溫度控制更難,而二者是不可分割的,單獨考慮一方會致使都不能達到設(shè)計要求,這就需要設(shè)計者進行全面分析,并與各專業(yè)緊密配合,采用專業(yè)的施工管理,這些都需要在實驗室凈化工程實施時去探索
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