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　　例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種凈化車間不宜超過25度?！穸冗^高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

　　然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓），凈化車間壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

　　1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。

　　2.相通凈化車間之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。

　　3凈化車間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

　　潤德凈化在生物制藥GMP凈化領(lǐng)域發(fā)展多年，實(shí)施了一系列GMP凈化車間，對(duì)于一些高難度的項(xiàng)目也通過過硬的技術(shù)實(shí)力和訓(xùn)練有素的施工隊(duì)伍完美完成。