文章摘要：在已經(jīng)獲得擬建場地環(huán)境振動測試數(shù)據(jù)，并已確定工程項目中精密設備的微振動控制值之后，在繼而進行的潔凈車間總平面設計中，應根據(jù)防微振要求及其他綜合因素，合理布置各車間的位置，是十分重要的工作。
在已經(jīng)獲得擬建場地環(huán)境振動測試數(shù)據(jù)，并已確定工程項目中精密設備的微振動控制值之后，在繼而進行的
潔凈車間總平面設計中，應根據(jù)防微振要求及其他綜合因素，合理布置各車間的位置，是十分重要的工作。對于振動較大的車間，如鍛工車間、例行試驗室、沖壓車間、水爆清砂池、爆炸成型池等，應盡可能遠離有精密設備的潔凈車間；潔凈車間周圍，不應布置廠區(qū)干道；各類動力站房，原則上也應單建，并與潔凈車間保持一定距離，動力站房內(nèi)的設備應采取隔振措施，以隔除其振動影響。
精密潔凈車間建筑結構的防微振動設計
精密潔凈車間建筑結構的防微振設計是防微振工程設計的重要一環(huán)，要解決這一問題，首先要了解環(huán)境振動的分類及傳遞途徑，環(huán)境振動傳遞的最終接受者是精密設備，其中有一類振動是直接作用于精密設備上，另一類振動是通過建筑結構的各種構件如基礎、柱、梁、墻、板等最終傳至精密設備底部。由圖可見，大量的環(huán)境振動能量，是通過建筑結構傳遞到精密設備底部的。建筑結構的防微振設計的要點如下。
·建筑物基礎盡可能置于堅硬土層上，并且基礎有足夠的剛度。
·建立獨立的建筑結構防徽振體系，并與車間主體結構脫開，減弱主體結構振動的影響。
潔凈車間結構防微振體系的內(nèi)容隨不同行業(yè)的不同工程類別而有所不同，以集成電路前工序為例，它包括如下內(nèi)容。
·獨立于車間主體結構的基礎。一般采用深基礎或復合地基，保證基礎具有足夠剛度及較小的沉降量。
·設置防微振平臺，并與車間主體結構脫開。平臺應具有較大的質(zhì)量及極好的剛度，平臺下支承柱采用較小的柱距。·在防微振平臺下適當區(qū)段內(nèi)設置防微振墻，以減弱水平向振動的傳遞
·防微振體系底部設置厚重地面層，并與地基土緊密接觸。
這種建筑結構防微振體系需計算其動力特性，并輸入場地環(huán)境振動波，計算其動態(tài)響應，計算結果應滿足精密設備振動控制值要求，如不能滿足要求，或在第三次環(huán)境振動測試結果不能滿足要求的話，應對精密設備采取隔振措施。
