二戰(zhàn)后半個(gè)世紀(jì)是現(xiàn)代科技高速發(fā)展的時(shí)期，人類經(jīng)過半個(gè)世紀(jì)的努力，無論在農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)藥、生物、宇宙探索、環(huán)境以及基本理論研究等方面，都取得了偉大的成就。材料的高純度、產(chǎn)品的高精度及高可靠性是這一時(shí)期科技發(fā)展的特點(diǎn)。超微細(xì)加工、裝配和測(cè)試，對(duì)諸如空氣潔凈、防微振、防電磁干擾、低噪聲以及對(duì)超純水、超純氣體等的嚴(yán)格要求，使由此產(chǎn)生的環(huán)境控制學(xué)得到了迅速發(fā)展。
潔凈車間控制微振動(dòng)即防微振，是環(huán)境控制的一個(gè)重要組成部分。
防微振的重要性體現(xiàn)在各行各業(yè)：例如感光化學(xué)工業(yè)，彩色膠片乳劑層14個(gè)涂層總厚度僅19μm，在涂布過程中由于徵小的振動(dòng)將使乳劑涂層厚薄不勻，在膠片上產(chǎn)生橫紋；在慣導(dǎo)技術(shù)方面，為了提高導(dǎo)彈的打擊精度，準(zhǔn)確命中目標(biāo)，需要對(duì)陀螺儀、加速度計(jì)及組合制導(dǎo)系統(tǒng)的精度提出高的要求，這種高精度慣導(dǎo)系統(tǒng)的調(diào)試和檢測(cè)，必須在極為寧靜的環(huán)境中進(jìn)行；對(duì)于微電子工業(yè)，線寬0.1μm產(chǎn)品已進(jìn)入市場(chǎng)，硅片加工中的光刻工序?qū)ξ⒄駝?dòng)的控制要求極為嚴(yán)格；其他如精密機(jī)械加工、光學(xué)器件檢測(cè)、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制以及理化實(shí)驗(yàn)等都需要對(duì)微振動(dòng)進(jìn)行控制。
在集成電路的制造過程中，被加工的是單一的硅片，從原材料到產(chǎn)品需要進(jìn)行幾百道物理、化學(xué)加工工序，其間如果遭受污染，就會(huì)引起產(chǎn)品大量報(bào)廢，例如64MDRAM，在制造過程中，空氣中塵埃粒徑應(yīng)被控制在0.035μm以下；環(huán)境微振動(dòng)值應(yīng)控制在4.5×10-3mm/s以下，在光刻工序，很小的微振動(dòng)會(huì)引起對(duì)位不準(zhǔn)，影響產(chǎn)品的成品率。
為了滿足集成電路日益精細(xì)的加工要求，各國(guó)在潔凈車間微污染控制技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)投入了可觀的人力、物力進(jìn)行系統(tǒng)研究，取得了大量科技成果，涌現(xiàn)了一批高科技產(chǎn)品，諸如超高效過濾器(過濾效率達(dá)99.999 99%)的問世及ISO 3級(jí)潔凈車間的建立；超純水及超純氣體的應(yīng)用；隧道式潔凈車間及微環(huán)境系統(tǒng)潔凈車間的出現(xiàn)和使用，大大降低了污染。在防微振領(lǐng)域，從潔凈車間結(jié)構(gòu)形式、動(dòng)力設(shè)備布置及隔振措施到精密設(shè)備防微振措施等方面獨(dú)特的建樹，為集成電路生產(chǎn)提供了一個(gè)優(yōu)良的環(huán)境?？梢哉J(rèn)為，當(dāng)今徽污染控制領(lǐng)域諸多科技成果的出現(xiàn)無不與集成電路生產(chǎn)的飛速發(fā)展有關(guān)。
集成電路工廠的前工序?qū)ξh(huán)境控制最為嚴(yán)格。在防微振方面，要求潔凈車間建造在遠(yuǎn)離鐵路、機(jī)場(chǎng)、公路干線且綠化較好的地區(qū)，總平面布置要求單建的動(dòng)力站房與潔凈車間之間留有足夠的距離。
我國(guó)對(duì)
潔凈車間防微振的研究及工程實(shí)踐始于20世紀(jì)60年代初期，經(jīng)歷了幾代人的努力，不僅建立和完善了防微振理論，開發(fā)了防徽振用系列化隔振產(chǎn)品，還進(jìn)行了大量的工程實(shí)踐，成功地解決了彩色膠片涂布、慣導(dǎo)系統(tǒng)測(cè)試、集成電路光刻工序、空間光學(xué)系統(tǒng)檢測(cè)、激光實(shí)驗(yàn)、超薄金屬軋制、文物保護(hù)等方面的防微振問題，為我國(guó)現(xiàn)代化科技的發(fā)展做出了貢獻(xiàn)。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、進(jìn)步，防微振技術(shù)必須不斷地探索、提高和深化，這將是歷史的必然。而解決好防微振技術(shù)，應(yīng)重點(diǎn)考慮以下幾個(gè)方面。
·微振動(dòng)控制值的確定；
·場(chǎng)地選擇及微振動(dòng)測(cè)試與分析；
·防微振工程設(shè)計(jì)程序；
·防微振工程設(shè)計(jì)。
