文章摘要：特定地點(diǎn)的環(huán)境振動(dòng)值往往不是單個(gè)振源的振動(dòng)影響，而是多個(gè)振源影響的疊加。不同地點(diǎn)，不同振源組合，其振動(dòng)影響的疊加結(jié)果常常差別很大。鑒于此，潔凈車間設(shè)計(jì)中環(huán)境振動(dòng)值的確定一般應(yīng)立足于實(shí)測。
我國幅員遼闊，地理、地質(zhì)、水文條件變化極大，而鐵路、公路、飛機(jī)場的構(gòu)造、通行的頻繁程度，廠礦機(jī)械的基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)等都有很大差異，因此很難用一個(gè)特定的量來表述某類振源的環(huán)境振動(dòng)影響。尤其是特定地點(diǎn)的環(huán)境振動(dòng)值往往不是單個(gè)振源的振動(dòng)影響，而是多個(gè)振源影響的疊加。不同地點(diǎn)，不同振源組合，其振動(dòng)影響的疊加結(jié)果常常差別很大。鑒于此，
潔凈車間設(shè)計(jì)中環(huán)境振動(dòng)值的確定一般應(yīng)立足于實(shí)測。
對于有防微振要求的潔凈車間廠房，通過場地環(huán)境振動(dòng)實(shí)測對比來選擇廠址，是工程可行性研究階段的重要內(nèi)容，一般說來，潔凈車間選址應(yīng)考慮如下原則。
·廠區(qū)應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、公路干道、碼頭、機(jī)場，并選擇環(huán)境振動(dòng)較小的地區(qū)。在地質(zhì)上應(yīng)避開斷層、流砂，選擇地質(zhì)構(gòu)造穩(wěn)定、土層密實(shí)、地下水位變化較小的地區(qū)。
·合理利用地形、地貌，例如利用河流、地面高差等自然條件，減少環(huán)境振動(dòng)對廠區(qū)及潔凈車間的影響。
潔凈車間選址應(yīng)采用先進(jìn)的測量儀器，它應(yīng)具有良好的頻響、高靈敏度及信噪比，在工程建設(shè)中必須堅(jiān)持采用實(shí)地測試、分析比較的方法選擇理想的廠址，切忌未經(jīng)測試分析而由行政部門主觀指定。
以對防微振及潔凈生產(chǎn)環(huán)境有嚴(yán)格要求的慣導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室為例，貫導(dǎo)實(shí)驗(yàn)室的場地應(yīng)避開如沿海地區(qū)、地震活動(dòng)頻繁地區(qū)、斷層地帶、雷雨及龍卷鳳區(qū)、飛機(jī)飛行區(qū)、公路干線、鐵路沿線、大型河流及湖泊區(qū)、城市工業(yè)區(qū)及人口密集區(qū)、常年冰凍區(qū)、礦區(qū)、森林區(qū)。
可以根據(jù)這些原則，在較大的地域范圍初選，再在初選分析對比的基礎(chǔ)上進(jìn)行精選，直至最終確定。
對于集成電路工廠的建設(shè)，其微振動(dòng)測試尤為重要。根據(jù)集成電路工業(yè)潔凈車間的特點(diǎn)，其振動(dòng)測試根據(jù)工廠建設(shè)的建設(shè)階段，一般分四次進(jìn)行。
① 場地環(huán)境的振動(dòng)測試。主要調(diào)查擬建場地的環(huán)境振動(dòng)參數(shù)，廠區(qū)周圍公路、鐵路等交通運(yùn)輸所產(chǎn)生的振動(dòng)影響，評估擬建場地是否可行，并根據(jù)實(shí)測參數(shù)選擇結(jié)構(gòu)形式，以抵御環(huán)境振動(dòng)對結(jié)構(gòu)的影響，保證所采用的結(jié)構(gòu)形式使場地的環(huán)境振動(dòng)在結(jié)構(gòu)上不至于增大。
② 主體建筑竣工后，在
潔凈車間內(nèi)各種設(shè)備未安裝前進(jìn)行環(huán)境振動(dòng)對主體結(jié)構(gòu)影響的測試。目的是了解建筑物自身的振動(dòng)特性，驗(yàn)證結(jié)構(gòu)方案，為潔凈車間內(nèi)各種振動(dòng)設(shè)備的隔振提供技術(shù)資料。
③ 車間內(nèi)除精密設(shè)備外，其他空調(diào)系統(tǒng)、動(dòng)力系統(tǒng)等設(shè)備和工藝附屬設(shè)備都已聯(lián)機(jī)調(diào)試或進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，對精密設(shè)備安裝位置的環(huán)境振動(dòng)測試。調(diào)查了解該位置的環(huán)境振動(dòng)是否滿足精密設(shè)備的振動(dòng)安裝條件要求，為精密設(shè)備是否進(jìn)一步采取隔振措施提供依據(jù)。
④ 精密設(shè)備安裝完畢，進(jìn)行試生產(chǎn)時(shí)，最終對整個(gè)生產(chǎn)線驗(yàn)證。用以保證產(chǎn)品的可靠性。環(huán)境振動(dòng)的物理量，應(yīng)根據(jù)精密設(shè)備對物理量的要求相應(yīng)確定，不外乎是振動(dòng)加速度、振動(dòng)速度及振動(dòng)位移，一般情況下，對采集得到的數(shù)據(jù)需進(jìn)行時(shí)域及頻域分析。
