文章摘要： 千級凈化工程技術(shù)是一門新興的技術(shù)。在科學(xué)實驗和工業(yè)生產(chǎn)活動中，產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性要求具有一個受控塵埃粒子污染的生產(chǎn)環(huán)境。早在20世紀(jì)，20年代美國航空業(yè)的陀螺儀制造過程最先提出了生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求，為消除空氣中的塵埃粒子對航空儀器的齒輪、軸承的污染，他們在制造車間、實驗室建立了“控制裝配區(qū)”，即將軸承的裝配工序等與其他生產(chǎn)、操作區(qū)分隔開，供給一定數(shù)量的過濾后的空氣，再加上良好的管理。
千級凈化工程技術(shù)是一門新興的技術(shù)。在科學(xué)實驗和工業(yè)生產(chǎn)活動中，產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性要求具有一個受控塵埃粒子污染的生產(chǎn)環(huán)境。早在20世紀(jì)，20年代美國航空業(yè)的陀螺儀制造過程最先提出了生產(chǎn)環(huán)境的凈化要求，為消除空氣中的塵埃粒子對航空儀器的齒輪、軸承的污染，他們在制造車間、實驗室建立了“控制裝配區(qū)”，即將軸承的裝配工序等與其他生產(chǎn)、操作區(qū)分隔開，供給一定數(shù)量的過濾后的空氣，再加上良好的管理。飛速發(fā)展的軍事工業(yè)要求防止放射性擴散，提高原材料純度、零件加工與裝配精度，提高元器件和整機的可靠性與延長壽命等，這些都要求有一個“干凈的生產(chǎn)環(huán)境”。美國一家導(dǎo)彈公司曾經(jīng)發(fā)現(xiàn)，在普通的車間內(nèi)裝配慣性制導(dǎo)用陀螺儀時平均每生產(chǎn)10個產(chǎn)品就要返工120次，當(dāng)在控制空氣中的塵粒污染的環(huán)境中裝配后,返工率可降低至2次；在無塵與將空氣有塵粒達(dá)1000pc/m3 (平均直徑為3pm，pc為粒子個數(shù)的縮寫)的環(huán)境中裝配轉(zhuǎn)速為12 000r/min的陀螺儀軸承進(jìn)行對比,產(chǎn)品使用壽命竟相差100倍。從這些實踐,人們認(rèn)識到空氣凈化在軍工產(chǎn)品生產(chǎn)中的迫切性，這就構(gòu)成了當(dāng)時發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)的推動力。
20世紀(jì)50年代初高效空氣粒子過濾器(High Efficiency Particulate Air filter-簡稱HEPA)在美國問世，取得了
千級凈化工程技術(shù)的第一次飛躍，這一成就的取得使美國在軍事工業(yè)和人造衛(wèi)星制造領(lǐng)域建立了一批以"HEPA"裝備起來的工業(yè)潔凈室，相繼應(yīng)用于航空、航海的導(dǎo)航裝置、加速器、陀螺儀、電子儀器等制造工廠。英國也在20世紀(jì)50年代在陀螺儀生產(chǎn)等工廠中建立了一些潔凈室；日本從20世紀(jì)50年代開始便在半導(dǎo)體制造工廠中應(yīng)用潔凈技術(shù)；前蘇聯(lián)也在同時期編制了所謂“密閉廠房”的典型設(shè)計。
凈化車間工程技術(shù)在人們的嘗試、實踐中得到日益廣泛的應(yīng)用，工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)、科學(xué)實驗在應(yīng)用潔凈技術(shù)中獲得了豐厚的回報，人們便以巨大的興趣和精力發(fā)展?jié)崈艏夹g(shù)，潔凈技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和工業(yè)產(chǎn)品的日新月異而健康、快速地發(fā)展。
