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　　云南凈化車間的換氣次數(shù)以及氣流速度，一直是云南凈化車間設(shè)計(jì)當(dāng)中比較關(guān)注的一個(gè)問題，隨著FFU的應(yīng)用，人們擔(dān)心的噪音、損壞維修等問題全部已經(jīng)在實(shí)踐中得到解決，伴隨著FFU的不斷改進(jìn)，對(duì)是否采用FFU回風(fēng)系統(tǒng)也是個(gè)比較關(guān)注的話題：懸浮分子污染（AMC）的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來，以下云南凈化車間對(duì)這些問題進(jìn)行簡單的探討。

　　一.氣流速度

　　云南凈化車間內(nèi)一定潔凈度下要對(duì)氣流速度進(jìn)行確認(rèn)，隨凈化車間用途等具體情況而異，它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就云南凈化車間而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　?。?）室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據(jù)具體情況而異，變化很大；

　?。?）室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層；

　?。?）自凈時(shí)間（恢復(fù)時(shí)間）的控制要求：云南凈化車間中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對(duì)流氣流或人及設(shè)備的移動(dòng)等都會(huì)造成潔凈度的惡化，恢復(fù)到原來潔凈度的自凈時(shí)間決定于氣流速度。

　　（4）末級(jí)過濾器的效率：在一定的室內(nèi)發(fā)塵量下，可采用較高效率的過濾器以降低氣流速度；為節(jié)能應(yīng)考慮采用較高效率的過濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小。

　　（5）經(jīng)濟(jì)性考慮：過大的氣流速度造成投資及運(yùn)行費(fèi)用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果；

　　二.云南凈化車間中FFU系統(tǒng)的應(yīng)用

　　FFU在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無可擔(dān)心。當(dāng)前其改進(jìn)主要是：

　?。?）云南凈化車間采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以內(nèi);

　?。?）電動(dòng)機(jī)采用DC/EC（電子整流電機(jī)），以耗較原交流電機(jī)節(jié)約近50%，因?yàn)樾★L(fēng)機(jī)所用小容量（功率<1/2HP）的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機(jī)的效率可達(dá)75～80%；在調(diào)速控制上可每臺(tái)單獨(dú)的以過濾器降壓進(jìn)行控制以節(jié)約能耗，但目前投資回收期尚長而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。

　?。?）但FFU出口靜壓不能過大，凈化車間一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s，此時(shí)其靜壓一般在250Pa以內(nèi)。