電子廠凈化車間設(shè)計特點及對環(huán)境的要求
發(fā)布時間:2017-03-30 瀏覽次數(shù):6511
2017年環(huán)球資源香港移動電子展將于4月18日至21日在香港亞洲國際博覽館舉辦。作為亞洲規(guī)模很大的電子產(chǎn)品展覽盛會,本次電子展不僅向廣大用戶展示眾多未來創(chuàng)新的科技產(chǎn)品,同時也為眾多買家提供了深入了解我國科技產(chǎn)品的機會,此次香港電子展也是國內(nèi)外科技廠家和媒體備受矚目的展會。眾所周知,電子產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境要求非常嚴(yán)格,電子廠凈化車間為電子產(chǎn)品滿足質(zhì)量要求提供了強有力的保障。
基于微電子和光電子加工工藝的精密化,微細(xì)化和規(guī)模化,就決定了其對生產(chǎn)環(huán)境的的要求就越來越高。電子廠凈化車間對環(huán)境的要求可用凈、精、純、嚴(yán)四個字來形容。
凈:電子廠凈化車間,尤其是微電子前工序和光電子前工序的凈化車間對環(huán)境潔凈度的要求越來越凈。例如,12吋園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達(dá)1級(0.1µm)也就是每立方英尺空氣中≥0.1 µm的粒子數(shù)不能超過1顆。相當(dāng)于ISO 1級。特別重要的是它對環(huán)境空氣提出了去除分子污染(SO2 , Nox , VOC ,NH3等)的要求。
精:電子廠凈化車間生產(chǎn)工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越精。還以上述微電子的光刻間為例:其溫度精度為±0.1℃,相對濕度的精度為±3%。
純:大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹碓郊?。例如:對高純水而言,不僅對其電阻率有要求,而且對高純水中所含粒子、細(xì)菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求,隨著電子廠凈化車間的發(fā)展,對其純度的要求也越來越高??芍^純之又純。
嚴(yán):電子廠凈化車間不僅對環(huán)境的潔凈度,溫、濕度有嚴(yán)格的要求,同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn),對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此電子廠凈化車間在處理空氣時,還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份,和用化學(xué)過濾器來吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
隨著人們生活水平的提高,科技的不斷進(jìn)步,人們對生存環(huán)境及各行業(yè)的產(chǎn)品質(zhì)量要求越來越高,凈化車間也隨著高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而不斷進(jìn)行著技術(shù)的完善。應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大,也使用國內(nèi)凈化產(chǎn)業(yè)不斷壯大。
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