電子廠凈化車間比較容易忽略的污染源
發(fā)布時間:2017-03-24 瀏覽次數(shù):5440
在今天舉行的2017年中國半導(dǎo)體市場年會暨第六屆集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新大會-應(yīng)用創(chuàng)新論壇上,中興微電子無線終端產(chǎn)品市場總監(jiān)表示,中興微電子開始實(shí)施“M戰(zhàn)略”,從人際通信轉(zhuǎn)型人與機(jī)器、機(jī)器與機(jī)器的通信,瞄準(zhǔn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)、萬物互聯(lián),聚焦5G、Volte和NB-IoT芯片。今年主推的芯片NB-IoT、芯片Rose Finch7100,預(yù)計(jì)將在9月份進(jìn)行芯片和模塊的同步發(fā)售,5G芯片預(yù)計(jì)將于2019年進(jìn)入測試。隨著我國高新科技領(lǐng)域的發(fā)展,對電子廠凈化車間的需求越來越大,同時對其要求也越來越高。
隨著大規(guī)模電子制造業(yè)利用各樣的設(shè)備和工藝技術(shù)。各專業(yè)技術(shù)人員雖然對自己分工的工藝技術(shù)精益求精,但對其它工藝生產(chǎn)情況有時不一定了解,往往不注意設(shè)備和工藝生產(chǎn)給電子廠凈化車間內(nèi)的環(huán)境帶來的不良影響。
電子廠凈化車間比較容易忽略的污染源:
(1)電磁噪聲
通過電子廠凈化車間大電流的氧化爐等設(shè)備的電纜和反復(fù)控制通斷的電磁開關(guān),高頻振蕩等產(chǎn)生的電磁噪聲,影響電子束掃描設(shè)備的掃描精度。其影響程度與發(fā)生源的距離成反比。
(2)振動
電子廠凈化車間設(shè)備內(nèi)的真空泵電機(jī)工作時會把振動經(jīng)地板傳遞到微細(xì)加工設(shè)備和顯微鏡等精密設(shè)備儀器上,影響它們的工作精度。應(yīng)在振源和怕受振動的設(shè)備下安裝空氣彈簧減震器,以達(dá)到衰減振動的目的。
(3)生銹
電子廠凈化車間酸用通風(fēng)罩局部排風(fēng)量不足時,酸霧氣擴(kuò)散于車間內(nèi),腐蝕車間內(nèi)設(shè)備的金屬部分,就是不銹鋼裸露在含氯氣的空氣中,也會受腐蝕生銹。處理酸的最有效的方法是采用密閉通風(fēng)罩,保證電子廠凈化車間有足夠的局部排風(fēng)量。
除上述人們熟知的原因之外,還有器材和設(shè)備的搬出和大修施工時的污染問題。這些污染不只是由于人的移動造成的,設(shè)備移動也會揚(yáng)起已落在地板表面和器材上的塵埃。特別是更換設(shè)備時養(yǎng)護(hù)地板,搬進(jìn)小工具或很多搬運(yùn)工進(jìn)出電子廠凈化車間,這些情況會導(dǎo)致電子廠凈化車間內(nèi)的懸浮塵埃量比平時大一百倍以上。
對電子廠凈化車間局部改造的施工中,通常人在地板下鋪設(shè)管道或者坐在地板上進(jìn)行作業(yè)。這種施工有時切割管道,于是聚氯乙烯管和不銹鋼等切屑粉末飛揚(yáng)出來。所以大修時盡管周圍掛上檔布以養(yǎng)護(hù),但由于施工人員進(jìn)進(jìn)出出,受污染的不僅僅是局部范圍,而且全車間都受嚴(yán)重污染。
在電子廠凈化車間內(nèi),只用有人在操作,有設(shè)備在運(yùn)行,就會發(fā)塵。這些塵埃并非隨著循環(huán)氣流為高效過濾器所捕集,一部分塵??傄e落在地板、墻壁、設(shè)備表面上。應(yīng)隨時清除這些積塵,以保持電子廠凈化車間的清潔。
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