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　　隨著人們對生活品質(zhì)的提高，對其生產(chǎn)品質(zhì)的要求也越來越嚴(yán)格。電子廠與其他行業(yè)在凈化車間的建設(shè)規(guī)劃時主要在于對靜電的控制。通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子廠凈化車間要保持恒溫恒濕，這樣才可以減少靜電的產(chǎn)生。

　　高濕度實(shí)際上減小了凈化車間、潔凈室表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，電子廠凈化車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

　　電子廠凈化車間溫濕度的控制主要在于其生產(chǎn)工藝的要求。下面舉例說明：

　　舉例一

　　在精密機(jī)械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計恒溫系統(tǒng)時，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定電子廠凈化車間恒溫室參數(shù)和選擇自動控制時，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動態(tài)特性。

　　舉例二

　　在電子行業(yè)制造車間是最重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會對產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子廠凈化車間相對濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議電子廠凈化車間的防靜電區(qū)域相對濕度不低于50%。過于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠凈化車間無特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　舉例三

　　在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

　　所以電子廠凈化車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高;后兩者為較大的生產(chǎn)車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。