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　　進(jìn)入夏季，氣溫一路飆升，人們?cè)诳照{(diào)房間中仍然覺(jué)得有些熱意。有的地方單是氣溫高，卻不下雨，很干燥，有的地方是晴日與雷雨天氣交加，空氣尚且比較濕潤(rùn)。溫、濕度影響人們的身體舒適度，同時(shí)也在影響產(chǎn)品的質(zhì)量。凈化車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí)，溫濕度設(shè)計(jì)要求嚴(yán)格。

　　溫度高也不行、過(guò)低也不行。濕度同樣是如此。凈化車(chē)間設(shè)計(jì)很重要。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種無(wú)塵車(chē)間工程不宜超過(guò)25度。

　　濕度過(guò)高會(huì)產(chǎn)生大量的問(wèn)題，如果凈化車(chē)間相對(duì)濕度超過(guò)百分之五十時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，無(wú)塵車(chē)間工程濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高，粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。

　　不同地域，為了保證合適的溫濕度，凈化車(chē)間設(shè)計(jì)也有不同。在冬季氣溫低、空氣含塵量大的北方地區(qū)，應(yīng)在通用的空調(diào)機(jī)組上增設(shè)新風(fēng)預(yù)熱段，采用淋水式空氣處理方式，使其既對(duì)空氣洗塵，又使其產(chǎn)生熱溫交換達(dá)到所要求的溫、濕度，而在氣候濕潤(rùn)、空氣含塵濃度較低的南方地區(qū)，則冬季也無(wú)需對(duì)新風(fēng)預(yù)熱，對(duì)空氣的過(guò)濾及溫、濕度的調(diào)節(jié)則采用初效過(guò)濾、表冷面調(diào)節(jié)溫濕度，也可以加強(qiáng)溫減濕工序，再經(jīng)中效過(guò)濾和終端高效或亞高效過(guò)濾。

　　隨著高、精、尖產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，對(duì)凈化車(chē)間的需求仍然在不斷增加。凈化技術(shù)也應(yīng)與時(shí)俱進(jìn)。