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　　凈化工程內(nèi)生產(chǎn)制造設(shè)備的選擇、布置與保養(yǎng)：

　　a、凈化工程要選用發(fā)塵性較少的生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)設(shè)備，尤其須注意活動(dòng)部分之發(fā)塵。

　　b、凈化工程應(yīng)選擇塵埃之影響較小的生產(chǎn)設(shè)備或接口設(shè)備。

　　c、凈化工程生產(chǎn)用之水、氣體、藥品等往往是造成污染的原因，故應(yīng)配備過濾裝置。

　　d、規(guī)劃各設(shè)備之配置空間時(shí)，事先宜考慮不易積累微塵之結(jié)構(gòu)，規(guī)劃各并以容易清潔為原則。

　　e、真空泵等容易產(chǎn)生污染物的這類設(shè)備，應(yīng)設(shè)置在無塵室外面或回風(fēng)區(qū)，并加裝排氣管線排氣。

　　f、設(shè)置給水管線、氣體管線和電氣系統(tǒng)時(shí)，其構(gòu)造須考慮到容易清潔，不易積累污染物。

　　g、生產(chǎn)及相關(guān)設(shè)備應(yīng)定期清掃，以避免微塵之堆積。

　　h、應(yīng)加強(qiáng)注意凈化工程室內(nèi)的溫濕度控制，避免因濕度之不當(dāng)造成結(jié)露生銹。

　　i、當(dāng)凈化工程設(shè)備維修時(shí)易產(chǎn)生微塵粒子，故維修時(shí)盡量于清潔室外進(jìn)行，并加隔離柵隔離。

　　j、對(duì)于施工或維修之廠商，應(yīng)告知進(jìn)出凈化車間之各項(xiàng)規(guī)定，且負(fù)責(zé)工程師應(yīng)隨侍在側(cè)監(jiān)工。

　　k、應(yīng)有凈化工程專用工具組，但不得帶出無塵室外使用。

　　l、規(guī)劃空間時(shí)若能臨近凈化車間設(shè)立一間維修和設(shè)備保養(yǎng)手冊(cè)置放室，將是一理想之規(guī)劃。