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　　新一代IC要求高品質的硅片，要求硅片具有高的面形精度和表面完整性。這對于潔凈室設計提出了更高的要求，增加了施工、管理的難度和復雜性。那么，納米芯片高潔凈度潔凈室應如何設計呢?

　　廠址選擇

　　注意，這不是潔凈室位置選擇，而是廠址選擇。在普通的低潔凈度潔凈室設計時，即便周邊有污染源，但只要影響在可控范圍內(nèi)，比如設置綠化帶減少污染，也可以建設潔凈室。但是，高潔凈度潔凈室對廠址選擇有嚴格的要求，應避開大氣含塵濃度、空氣中有害物質較少和周圍環(huán)境無嚴重污染的地方，如農(nóng)村、城市遠郊等，遠離鐵路、碼頭、機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵、煙氣和有害氣體的工程、堆場等。

　　建筑布局

　　凈化空調(diào)系統(tǒng)既要服從建筑總體布局，而建筑布局也要符合凈化空調(diào)系統(tǒng)的原則，才能充分發(fā)揮相關功能的作用。因此，潔凈室設計時，設計者要給建筑布局提出要求，使其符合潔凈室原理。

　　平面布局

　　潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準潔凈區(qū)、輔助區(qū)三個部分。納米芯片高潔凈度潔凈室設計時，一般將潔凈區(qū)布置在廠區(qū)的中央，并且和其他的分區(qū)之間保持正壓差。另外，動力廠房由于噪音、污染較大，在潔凈室設計時，一般將之布置在與潔凈室留有足夠的距離。

　　管線管理

　　潔凈室須敷設大量的風管，還要安設照明、電力、水力設施以及生產(chǎn)設備，因此管線十分的復雜。因此，潔凈室設計時應采用隱蔽組織的方式：頂部技術夾層，房間技術夾層，技術夾道(強)，技術豎井。

　　滿足納米芯片生產(chǎn)的高潔凈度需求十分的不容易，潔凈室工程難度大，須選擇高水平的潔凈公司。潤德凈化位于泉城濟南，持有國家空氣凈化工程二級資質，榮獲ISO環(huán)境管理體系認證、ISO質量管理體系認證，技術實力雄厚，施工隊伍精良，工程造價合理，在業(yè)內(nèi)和客戶中享有良好的聲譽。