淺談潔凈工程的溫濕度控制
發(fā)布時間:2021-03-10 瀏覽次數(shù):4001
潔凈廠房溫濕度控制
1.潔凈工程溫度控制
具體的控制計劃是:在潔凈室的回風管道上安裝冷水盤管,在潔凈室下層擱板的桁架梁上安裝溫度傳感器。對應區(qū)域回風夾道處冷水盤管的中溫冷凍水(14℃)管道上安裝有電動調節(jié)閥,每個區(qū)域的溫度與此電調節(jié)閥構成閉環(huán)控制,用控制盤管內中溫水流量來控制對應區(qū)域的溫度,此PID加適當微分,用以克服溫度傳感器的滯后性。
2.潔凈工程濕度控制。
在潔凈室的溫度控制穩(wěn)定之后,濕度控制也非常重要。 過高容易冷凝,過低容易產生靜電,這會影響LCD面板的良率。因此55%±5%的相對濕度是控制的一個目標。但對于如此大型的潔凈廠房直接加濕和除濕是不現(xiàn)實的,于是采用非潔凈區(qū)的新風機組通過不停補新風的置換來控制。潔凈工程溫度23℃,濕度55%的空氣通過查詢焓濕圖可知,此時露點溫度為13.5℃,那么理論上新風機組只要將送風的露點控制在13.5℃即可,如果潔凈車間濕度偏高,可以送低于13.5℃露點的新風,反之送高于13.5℃露點的新風,所以潔凈工程濕度控制的關鍵在于新風機組送風露點的控制,下面以控制13.5℃的送風露點來說明新風機組的控制原理。新風機組是一種空氣調節(jié)設備,不但能提供新鮮空氣,而且可控制送風露點。
3.潔凈工程正壓控制。通過以上兩個方面使?jié)崈羰业臏囟群蜐穸确€(wěn)定后,需要保證一個參數(shù)-潔凈室的正壓,顧名思義就是潔凈工程相對室外為正壓,使溫濕度不受外界環(huán)境影響。正壓的形成依靠新風機組不停地補新風來保證,這個新風必須大于各工藝設備的排氣量,但工藝設備的排氣量隨產能有變化,且潔凈工程搬入口也偶爾會打開搬入材料,會有部分漏風量,所以新風采用固定頻率送風的方式是肯定行不通的,而原設計的新風機組變頻與送風風管壓力控制也不能完全代表潔凈工程正壓,所以做了控制整改:利用潔凈工程下夾層已經安裝用以監(jiān)視的壓差變送器,根據(jù)其信號通過PLC計算出一平均正壓,由此正壓來控制新風機組變頻器運行,PID輸出CV值賦值給服務此潔凈工程的所有新風機組,保證新風機組頻率同升同降。
總之,要控制好潔凈工程的溫濕度不是很容易的,濕度控制比溫度控制更難,而二者是不可分割的,單獨考慮一方會致使都不能達到設計要求,這就需要設計者進行全面分析,并與各專業(yè)緊密配合,采用專業(yè)的施工管理,這些都需要在凈化工程實施時去探索
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