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凈化車間的防靜電環(huán)境要求
發(fā)布時間:2019-06-29   瀏覽次數(shù):5570

文章摘要:靜電是凈化車間非常難控制的因素之一,靜電能增加半導體器件生產(chǎn)中的浪費,降低電子設備的可靠性。因此,凈化車間在半導體器件的生產(chǎn)中,所有的制造階段都需要防止靜電對器件的影響。
  靜電是凈化車間非常難控制的因素之一,靜電能增加半導體器件生產(chǎn)中的浪費,降低電子設備的可靠性。因此,凈化車間在半導體器件的生產(chǎn)中,所有的制造階段都需要防止靜電對器件的影響。
凈化車間

  消除靜電的方法有很多,凈化車間工程中經(jīng)常采用以下方法進行防靜電環(huán)境要求:

  1、選擇合適的材料:

  清潔車間裝修應采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能迅速泄漏的材料。當多個材料一起使用時,應選擇電氣順序表中相互靠近的材料。所有材料可分為電導體或電絕緣體。導體是電流可以通過的材料,絕緣體是電流不能通過的材料。

  2、接地:

  接地是消除帶電導體中靜電較常用、非常經(jīng)濟、非常簡單、非??煽康姆椒?。

 ?。?)凈化車間內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體、氣體或粉末管道應采取防靜電接地措施。

  (2)電子工業(yè)潔凈室的圍護結(jié)構(天花板、地板、墻、柱)應采用防靜電裝飾,以抑制粉塵的帶電吸附。

 ?。?)工藝設備接地。

 ?。?)辦公設備應采用防靜電材料,并接地。

 ?。?)員工應穿戴防靜電無塵服、鞋、帽、手套、腕帶等。

  3、中和作用:

  將帶電體周圍的空氣(靜電)電離后,帶電離子在電磁場的作用下遷移,帶電體吸引相反的電荷來中和和消除靜電。靜電消除器是一種能產(chǎn)生電子和離子的裝置。它中和帶電體上的電子、離子和各向異性電荷,從而消除靜電。必須通過靜電中和的方法消除絕緣材料表面和空氣中的靜電電荷。

  4、濕度控制:

  在眾多的靜電消除方法中,室內(nèi)濕度控制也被認為能夠在凈化車間減少和消除靜電。通過在環(huán)境中保持較高的相對濕度,該區(qū)域內(nèi)的物體表面將形成一層薄薄的濕度層。這一薄層可以用來提供導電通道,使電位電荷可以流過濕層以消散靜電電荷。此外,薄的濕氣體層可以增加物體表面的潤滑性,并且通過摩擦產(chǎn)生的電能也會減少。一般來說,濕度越低,產(chǎn)生的電荷越多。然而,數(shù)據(jù)表明,即使在高濕度條件下也能產(chǎn)生明顯的靜態(tài)電壓。然而,在高濕度環(huán)境中,生產(chǎn)商可能會感到非常不舒服,零件可能生銹,并可能出現(xiàn)可焊性問題。


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