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　　一、不攜入

　　在潔凈車間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

　　1）作業(yè)員進(jìn)入潔凈車間前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

　　2）進(jìn)入車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　3）通過風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入潔凈車間。

　　4）機(jī)器及材料帶進(jìn)車間前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)潔凈車間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入潔凈車間。

　　5）車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

　　二、不制造

　　為了控制發(fā)塵量達(dá)到較小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

　　2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

　　3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

　　4）機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　三、不儲(chǔ)備

　　若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的潔凈車間內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

　　控制氣流可防止微粒子累積，但對(duì)于帶電表面的微粒累積就無法防止。潔凈車間內(nèi)的浮游微粒子濃度，使用高性能的過濾器即可容易達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　四、排除/除去

　　在無法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓潔凈車間內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無法說是理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向潔凈室外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到潔凈車間內(nèi)之對(duì)策。