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　　凈化工程的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。

　　例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢Ξa(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。

　　此外，凈化工程內(nèi)濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿，對于硅片生產(chǎn)最佳濕度范圍為35—45%。

　　濟(jì)南潤德醫(yī)用工程有限公司是一家集設(shè)計(jì)、研發(fā)、施工、安裝于一體的專業(yè)企業(yè)，致力于凈化行業(yè)發(fā)展多年，技術(shù)實(shí)力雄厚，現(xiàn)有多名高素質(zhì)技術(shù)人才，制定專業(yè)化的凈化工程規(guī)劃設(shè)計(jì)方案，凈化工程施工效率高，質(zhì)量好，成本控制嚴(yán)格，售后服務(wù)完善，承接了眾多國內(nèi)企業(yè)的凈化工程，和眾多知名知名品牌建立了長期的良好合作關(guān)系，擁有良好的信譽(yù)和口碑。