文章摘要：近年來(lái)，以電子設(shè)備為代表的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速地向前發(fā)展著，在這些最先進(jìn)的技術(shù)領(lǐng)域中，日新月異地進(jìn)行技術(shù)革新，并把產(chǎn)品的徽細(xì)化、高質(zhì)量化、超精密化作為目標(biāo)，而且為了謀求生產(chǎn)的高效率、高質(zhì)量而建造高質(zhì)量的潔凈車間。
近年來(lái)，以電子設(shè)備為代表的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速地向前發(fā)展著，在這些最先進(jìn)的技術(shù)領(lǐng)域中，日新月異地進(jìn)行技術(shù)革新，并把產(chǎn)品的徽細(xì)化、高質(zhì)量化、超精密化作為目標(biāo)，而且為了謀求生產(chǎn)的高效率、高質(zhì)量而建造高質(zhì)量的
潔凈車間。
用于超大規(guī)模集成電路（VLSI）、鐘表、精密機(jī)械、光學(xué)儀器及電子儀器等制造、加工或裝配的各類潔凈車間，根據(jù)生產(chǎn)用途不同，而使用各種各樣的設(shè)備。超大規(guī)模集成電路制造工廠的生產(chǎn)設(shè)備，因?yàn)橛邢率龈鞣N情況，必須精心設(shè)計(jì)、精心施工。
·消耗電力大；
·防振動(dòng)；
·防靜電；
·防電磁波干擾；
·需要實(shí)行特殊接地；
·需要不停電電源；
·電壓波動(dòng)、頻率變化小；
·需要特殊電壓。
在沽凈車間的電氣設(shè)備中，特別重要的問(wèn)題是為確保產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率的提高，而應(yīng)把潔凈車間的潔凈度穩(wěn)定地維持在一定的水平上:為此，必須遵守不產(chǎn)生灰塵、不積存灰塵、不帶人灰塵的三原則。
①不產(chǎn)生灰塵
·電機(jī)、通風(fēng)機(jī)的皮帶等旋轉(zhuǎn)部分應(yīng)選用耐磨性好，表面不產(chǎn)生剝離的材料；
·電梯等垂直運(yùn)輸機(jī)械或水平機(jī)械的導(dǎo)軌、鋼絲繩的表面應(yīng)不產(chǎn)生剝離。
②不積存灰塵
·墻面上安裝的配電盤、控制盤、開關(guān)等應(yīng)盡量做成暗裝式，盡量采用凹凸少的形狀；
·配線管等以暗裝為原則，在必須明裝的情況下，無(wú)論如何也不要在水平部分明裝，只能在垂直部分明裝；
·在配件必須明裝的情況下，外表楞角要少且光滑，以便清掃；
·根據(jù)消防法規(guī)設(shè)置的安全口指示燈、疏散標(biāo)志燈，需要采取不易積塵的結(jié)構(gòu)；
·墻壁、地板等因?yàn)槿嘶蛭锏囊苿?dòng)、空氣的反復(fù)摩擦?xí)a(chǎn)生靜電而吸附灰塵，所以必須采取防靜電地板、防靜電裝修材料和接地等措施；
·照明燈具因?yàn)閾Q燈管燈泡要定期地進(jìn)行維修，所以在構(gòu)造上要考慮更換燈管燈泡時(shí)使灰塵不致落入潔凈車間內(nèi)。
③不帶入灰塵
·在施工中使用的電線管、照明燈具、探測(cè)器、開關(guān)等應(yīng)在進(jìn)行充分清洗后再使用。另外，必須特別注意對(duì)電線管的保管。
·安裝于
潔凈車間頂棚、墻壁上的照明燈具、開關(guān)、插座等周圍的貫通部位必須密封，使之不侵人不潔的空氣。貫通于潔凈車間的電線、電纜的保護(hù)管在穿墻、穿地面和穿頂棚處必須密封。
