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　　1、細(xì)菌生長。細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。而相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。所以潔凈車間的相對濕度需要控制在一定范圍。

　　2、相對濕度控制不好，容易造成潔凈車間里的金屬腐蝕。很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在車間周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應(yīng)加速。一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有保護能力的。在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。

　　3、潔凈車間相對濕度控制不好會出現(xiàn)靜電荷。當(dāng)相對濕度超過50%時，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對濕度小于30%時，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時間。東莞潔凈車間相對濕度在35%到40%之間可以作為一個令人滿意的折中，半導(dǎo)體車間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

　　4、吸水性。相對濕度控制不好，對潔凈車間吸水性產(chǎn)出一定的影響。

　　5、水汽冷凝。在相對濕度較高的潔凈車間環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)稱為凱爾文濃縮，就是當(dāng)相對濕度小于50%時并不重要，但當(dāng)相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

　　6、潔凈車間的濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。如果東莞潔凈車間濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　　此外，在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。光刻膠附著力同樣也可以受到較高的相對濕度的負(fù)面影響；較低的相對濕度(約30%)使光刻膠附著更加容易，甚至不需要聚合改性劑，如六甲基二硅氮烷(HMDS)。