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 　企業(yè)建設(shè)潔凈車(chē)間內(nèi)的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定的，但前提是需要滿足工藝要求的條件下，還要考慮到人的舒適度感。隨著現(xiàn)在諸多行業(yè)對(duì)空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了生產(chǎn)環(huán)境對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)，但是隨之而來(lái)的也會(huì)產(chǎn)生潔凈車(chē)間能耗過(guò)大問(wèn)題。

　　在潔凈車(chē)間內(nèi)生產(chǎn)具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在潔凈車(chē)間內(nèi)大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種潔凈車(chē)間不宜超過(guò)25度。

　　凈化公司在設(shè)計(jì)施工中發(fā)現(xiàn)，在普通無(wú)菌車(chē)間內(nèi)濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，潔凈車(chē)間內(nèi)濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35—45%。另外濕度過(guò)大會(huì)產(chǎn)生微生物的滋生問(wèn)題。

　　濟(jì)南潤(rùn)德凈化工程公司擁有雄厚的技術(shù)實(shí)力和豐富的施工經(jīng)驗(yàn)，因地制宜，區(qū)別對(duì)待，根據(jù)凈化場(chǎng)所的不同，利用專(zhuān)業(yè)凈化工程設(shè)備，設(shè)計(jì)適應(yīng)生產(chǎn)工藝流程、工程造價(jià)合理的方案，設(shè)計(jì)技術(shù)指標(biāo)符合實(shí)驗(yàn)室凈化標(biāo)準(zhǔn)，經(jīng)驗(yàn)豐富的潔凈車(chē)間施工隊(duì)伍快捷高效，售后服務(wù)完善，