文章摘要：在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，潔凈工程設(shè)計(jì)人員對于這類排氣系統(tǒng)首先應(yīng)按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統(tǒng)，必須防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)
在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，
潔凈工程設(shè)計(jì)人員對于這類排氣系統(tǒng)首先應(yīng)按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統(tǒng)，必須防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；其次應(yīng)選用專用的廢氣處理裝置，
潔凈工程特氣排氣的處理設(shè)備通常有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等；再有是排氣系統(tǒng)的設(shè)備、管道的材料選用必須根據(jù)排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應(yīng)的材質(zhì)，并不得與排放的特氣發(fā)生反應(yīng)。
在生產(chǎn)或分裝青霉素等強(qiáng)致敏性藥物、某些甾體藥物以及高活性、有毒藥物的房間、一類危險(xiǎn)度以上病原體操作區(qū)的排風(fēng)口，應(yīng)安裝高效過濾器，使這些藥物引起的污染危險(xiǎn)降低至最低限度。并且此類排風(fēng)系統(tǒng)的排入大氣的排風(fēng)口與其他藥品生產(chǎn)用凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)進(jìn)風(fēng)口應(yīng)相隔一定距離。
潔凈工程室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的處理設(shè)備、風(fēng)管、附件，如密閉閥、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料、保溫材料和涂料，潔凈工程設(shè)計(jì)人員應(yīng)根據(jù)排出氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件等確定。在《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》中作了明確的規(guī)定。潔凈工程的排風(fēng)管、附件及輔助材料的選擇應(yīng)符合下列要求。
①排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料。這里所指的不燃材料是各種類型的金屬板材，包括碳鋼、不銹鋼、有色金屬板材，具體選用應(yīng)按排氣的性質(zhì)確定。
②排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，應(yīng)采用耐腐蝕的難燒材料。這里所指的難燒材料主要是氧指數(shù)等于大于32的玻璃鋼等。
③附件、保溫材料、消聲材料和涂料等均采用不燃材料或難燃材料。這里所指的不燃材料主要是巖棉、玻璃棉等；難燃材料主要是氧指數(shù)大于等于32的橡塑海綿、聚氨酯等。
