文章摘要：隨著空氣凈化工程設(shè)計(jì)的發(fā)展，高效空氣過(guò)濾器無(wú)論是過(guò)濾材料、結(jié)構(gòu)形式、密封材料、外框材質(zhì)以及檢測(cè)方法變化發(fā)展很快，尤其是集成電路生產(chǎn)的日新月異，要求生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到控制微粒直徑為0.05-0.1m，空氣潔凈度等級(jí)要求1級(jí)甚至更為嚴(yán)格，并且還要控制生產(chǎn)環(huán)境中的分子級(jí)化學(xué)污染物、重金屬污染物等。
隨著
空氣凈化工程設(shè)計(jì)的發(fā)展，高效空氣過(guò)濾器無(wú)論是過(guò)濾材料、結(jié)構(gòu)形式、密封材料、外框材質(zhì)以及檢測(cè)方法變化發(fā)展很快，尤其是集成電路生產(chǎn)的日新月異，要求生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到控制微粒直徑為0.05-0.1m，空氣潔凈度等級(jí)要求1級(jí)甚至更為嚴(yán)格，并且還要控制生產(chǎn)環(huán)境中的分子級(jí)化學(xué)污染物、重金屬污染物等。為了滿足各種工業(yè)產(chǎn)品微細(xì)化、高精密度的要求，除了從
空氣凈化工程設(shè)計(jì)的布置、圍護(hù)和室內(nèi)裝飾以及凈化空調(diào)系統(tǒng)的形式、氣流流型等方面采用可靠的技術(shù)措施外，關(guān)鍵技術(shù)措施之一便是選用符合要求的高效空氣過(guò)濾器(HEPA)、超高效空氣過(guò)濾器(ULPA)，在這方面國(guó)內(nèi)外的科研、設(shè)計(jì)和制造廠家都做了大量研究開(kāi)發(fā)工作，取得了許多可用的成果，但是國(guó)產(chǎn)高效過(guò)濾器的產(chǎn)品與國(guó)際先進(jìn)產(chǎn)品相比仍有較大差距，尤其是用于比5級(jí)(100級(jí))和要求更嚴(yán)格的空氣凈化工程高效過(guò)濾器、超高效過(guò)濾器的質(zhì)量、檢測(cè)方法等方面存在著較大差距。
我國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB 13354-92 《高效空氣過(guò)濾器》中規(guī)定，高效過(guò)濾器是采用鈉焰法檢測(cè)，其效率達(dá)到99.9%以上的過(guò)濾器；或?qū)α?gt;0.1um的微粒采用粒子計(jì)數(shù)測(cè)定法，其效率達(dá)到99.999%以上的過(guò)濾器。
