文章摘要：近年來，由于凈化工程設(shè)計(jì)中采取了各種技術(shù)措施，降低了這類產(chǎn)塵量，如采用封閉隔斷及局部排風(fēng)措施等，使產(chǎn)塵區(qū)域相對于周圍空間有一定的負(fù)壓，防止粉塵擴(kuò)散開來，以至危害其他工序的潔凈度
潔凈室內(nèi)生產(chǎn)設(shè)備和產(chǎn)品生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵量主要取決于產(chǎn)品生產(chǎn)過程的特點(diǎn)、選用的設(shè)備狀況及其采取的技術(shù)措施、選用的原料輔料、工藝介質(zhì)的純度及其輸送系統(tǒng)等，近年來，由于
凈化工程設(shè)計(jì)中采取了各種技術(shù)措施，降低了這類產(chǎn)塵量，如采用封閉隔斷及局部排風(fēng)措施等，使產(chǎn)塵區(qū)域相對于周圍空間有一定的負(fù)壓，防止粉塵擴(kuò)散開來，以至危害其他工序的潔凈度；采取排風(fēng)罩等措施將工藝產(chǎn)塵排走，盡可能減少擴(kuò)散到生產(chǎn)車間的粉塵量；車間機(jī)械設(shè)備的軸承、齒輪、傳動皮帶等運(yùn)動部件在工作過程中，由于潤滑油升溫炭化及機(jī)械磨損等原因而散發(fā)到空氣中的塵埃，越來越引起某些
凈化工程設(shè)計(jì)的關(guān)注。
凈化工程設(shè)計(jì)在集成電路生產(chǎn)中，隨著集成度的提高，要求生產(chǎn)環(huán)境控制0.1tm塵粒達(dá)到1級或更嚴(yán)的潔凈度，為了減少潔凈室建造費(fèi)用并可靠地達(dá)到高級別要求，目前許多大規(guī)模集成電路工廠采用微環(huán)境技術(shù)和生產(chǎn)工藝自動化技術(shù)，采用機(jī)械手、機(jī)器人，從而減少了室內(nèi)人員等因素，使室內(nèi)產(chǎn)塵總量下降。在此情，況下，這些機(jī)械運(yùn)動設(shè)備的產(chǎn)塵量和生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵量所占份額就不斷提高。但一般潔凈室在通常情況下，室內(nèi)最主要的污染源仍然是人。
無塵凈化工程對于生物潔凈室，包括制藥工業(yè)，往往更關(guān)注人體的散發(fā)菌量。室內(nèi)空氣中的徵生物主要附著在微粒上和由人體鼻腔和口腔噴出的飛沫中。
