文章摘要：非單向流潔凈室廣泛應(yīng)用于無塵凈化工程中，這類潔凈室的凈化，空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)通常采用頂送側(cè)回、頂送頂回等方式，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和各種公用動力管線等。
(1)非單向流潔凈室
這類潔凈室廣泛應(yīng)用于
無塵凈化工程中，這類潔凈室的凈化，空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)通常采用頂送側(cè)回、頂送頂回等方式，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和各種公用動力管線等。所謂公用動力管線主要包括自來水、純水、各類氣體或液體管道和電力、照明及通信線繳等。若在技術(shù)夾層設(shè)有可燃?xì)怏w管道時，應(yīng)設(shè)置報警裝置、排風(fēng)裝置等。
(2)單向流潔凈室
單向流潔凈室主要用于電子工業(yè)和生物制藥生產(chǎn)的局部區(qū)域。在生物醫(yī)藥產(chǎn)品生產(chǎn)中主要采用局部設(shè)置層流罩或凈化工作臺或生物安全柜等來滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求。在電子工業(yè)中的微電子產(chǎn)品或一些電子器件產(chǎn)品生產(chǎn)中需要一個房間或一條生產(chǎn)線，甚至數(shù)條生產(chǎn)線的主要工序均需設(shè)置在嚴(yán)于5級(100級)的潔凈室內(nèi)，才能達(dá)到產(chǎn)品生產(chǎn)的要求。目前超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求微?？刂屏?.1pm、0.05um，達(dá)到1級或更嚴(yán)級別的要求、為此，
無塵凈化工程中單向流潔凈室的空間布置已從“單層”布置發(fā)展到“多層”布置(這里的“單層” “多層”與通常所說的單層或多層廠房有所不同，因為這里“單層” “多層”均設(shè)有與工藝生產(chǎn)層相通的上下技術(shù)夾層，為加以區(qū)別，將這里所敘述的“單層” “多層”增加符號.”)。“單層”布置的單向流潔凈廠房，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層，在上技術(shù)夾層內(nèi)布置送風(fēng)管道、部分公用動力管線，
萬級凈化工程中通過設(shè)在頂棚上的高效過濾器向潔凈生產(chǎn)區(qū)均勻送風(fēng)；通過設(shè)在下技術(shù)夾層的回風(fēng)地板回風(fēng)至空氣處理裝置。供應(yīng)潔凈生產(chǎn)區(qū)所用的部分公用，動力管線、設(shè)備和工藝生產(chǎn)用管線、設(shè)施等同層布置潔凈生產(chǎn)區(qū)的鄰近處。這種空間布置的靈活性較差，當(dāng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品數(shù)量擴(kuò)大時，進(jìn)行工藝平面布置調(diào)整較為困難，需要較長的技術(shù)改造時間技術(shù)改造費(fèi)用增加。
