文章摘要：目前在超大規(guī)模集成電路的專業(yè)凈化工程廠房中通常采用微環(huán)境，把工藝核心區(qū)隔離開，在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)達到所要求的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制要求(溫度、相對濕度、壓力)。為保護工作區(qū)內(nèi)產(chǎn)品免被污染，專業(yè)凈化工程通常采用單向流或微環(huán)境把人與暴露的產(chǎn)品隔離開。
集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級主要取決于集成電路的集成度、不同工序的空氣潔凈度等級是依據(jù)可能污染的概率和對器件的潛在故障確定的。例如在集成電路生產(chǎn)的光刻工序中，硅片暴露在生產(chǎn)環(huán)境中，污染概率很高時器件的不合格率也會很高，因此為防止出現(xiàn)這種危害，目前在超大規(guī)模集成電路的專業(yè)凈化工程廠房中通常采用微環(huán)境，把工藝核心區(qū)隔離開，在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)達到所要求的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制要求(溫度、相對濕度、壓力)。為保護工作區(qū)內(nèi)產(chǎn)品免被污染，專業(yè)凈化工程通常采用單向流或微環(huán)境把人與暴露的產(chǎn)品隔離開。公用設施區(qū)是設置晶片加工設備無操作人員的接口部分，此區(qū)域內(nèi)所進行的工作一般不暴露于生產(chǎn)環(huán)境中。工作區(qū)與公用設施區(qū)一般是相鄰布置。服務區(qū)是既無產(chǎn)品又無加工設備的區(qū)域，通?？拷ぷ鲄^(qū)和公用設施區(qū)。
- 在制訂最佳設計條件之前，應該詳細說明與ISO等級有關(guān)的占用狀態(tài)。
- 表列的氣流流型表示該等級的潔凈室的氣流特性：U=單向流； N=非單向流；M=混合流流型。
- 平均氣流速度通常適用于潔凈客內(nèi)單向流的流型，對單向氣流流速的要求取決于被控空間形狀和熱氣流溫度有關(guān),單向流流速不是指過濾器正面風速。
- 每小時換氣次數(shù)用于非單向流和混合流。單位面積送風量的推薦值適用于層高為3.0m的潔凈室。
- 專業(yè)凈化工程應該考慮采用嚴格的密封措旗。
- 污染源和待保護區(qū)之間有效分隔：可以用隔板或氣流屏障。
實際上，目前國內(nèi)外的集成電路制造公司、廠家按各自生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)設備、生產(chǎn)用原輔料以及潔凈室的實踐經(jīng)驗等經(jīng)濟地確定集成電路潔凈廠房各工序(房間)要求的空氣潔凈度等級。據(jù)了解，各集成電路制造公司、廠家在設計建造集成，電路潔凈廠房時采用的空氣潔凈度等級、潔凈室的平面和空間布置、空氣凈化系統(tǒng)、
車間凈化工程等方面的技術(shù)方案、技術(shù)措施均各具特色,不盡相同。
