昆明GMP凈化車間機(jī)構(gòu):金屬管道的連接
發(fā)布時(shí)間:2018-06-14 瀏覽次數(shù):3239
對(duì)于昆明GMP凈化車間機(jī)構(gòu)來(lái)說(shuō),GMP凈化車間內(nèi)的管道安裝必須布局合理、排列整齊、便于檢修,控制閥安裝便于操作潔凈區(qū)內(nèi)的明裝管道。車間內(nèi)運(yùn)輸高純氣體的金屬管道安裝最為重要,必須嚴(yán)格按照規(guī)范來(lái)安裝連接。
金屬管道的連接
一、管道材質(zhì):
用于輸送高純氣體的金屬管道材質(zhì)主要有:
1.銅管。在半導(dǎo)體企業(yè)中,個(gè)別生產(chǎn)工藝如砷化鎵的操作,為了防止產(chǎn)生器件電阻,不允許使用銅制管路及其附件,只能使用不銹鋼材料。
2.低碳不銹鋼。大流量高純、高潔凈氣體原則上全部采用低碳不銹鋼管。
二、連接方式:
1.焊接。高純、高潔凈氣體管道,原則上采用焊接,但不能直接對(duì)焊,應(yīng)采用套管接頭。
a不銹鋼管的焊接:采用氬弧焊,同時(shí)管內(nèi)通入同等純度的氬氣,防止焊接部位氧化。
b鋼管的焊接:采用40%銀焊條,氮?dú)獗Wo(hù)焊,管內(nèi)通入工藝氣體同等純度的氮?dú)狻5⒁?,一旦氮?dú)庵袛嗷虻獨(dú)饧兌认陆?,?huì)在焊口附近生成銅的氧化物,產(chǎn)生浸潤(rùn)表面的可能性。所以,當(dāng)銅管焊接完畢后,要用浸漬丙酮的紗布來(lái)回擦拭管內(nèi),消除焊接處可能產(chǎn)生的氧化物。
2.法蘭連接。螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)采用聚四氯乙烯,為確保密封效果,在墊片上涂敷少量氟橡膠(白色、室溫固化)。
3.螺紋連接。螺紋連接的氣密性不如焊接的好,不適用于高純、高潔凈氣體管路連接。螺紋連接使用的密封填料殘?jiān)袔霘怏w的危險(xiǎn),而且內(nèi)外螺紋旋緊時(shí),金屬間的摩擦?xí)a(chǎn)生金屬粉塵粒子,污染氣體。如確實(shí)必要,應(yīng)在銅與銅、銅與銅合金附件螺紋連接時(shí),在外螺紋上均勻地掛上一定量的焊條,提高密封效果,盡可能減少金屬粉塵。
三、管路附件的使用:
1.在采用銅材的管路系統(tǒng)中,可以使用不銹鋼材質(zhì)的管道附件;但在不銹鋼材質(zhì)的管路系統(tǒng)中,不容使用銅制材料的管道附件。
2.管路附件的材質(zhì)的選用原則應(yīng)與管材的選用原則一致。
以上就是金屬管道的連接內(nèi)容,昆明GMP凈化車間機(jī)構(gòu)建議在連接前必須認(rèn)真復(fù)核設(shè)備接口方位、規(guī)格、尺寸,采取先預(yù)制后安裝方法進(jìn)行,盡量減少GMP凈化車間內(nèi)的管道、管件、閥門和支架的數(shù)量。
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