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 　凈化工程內(nèi)的微塵濃度，使用高性能的凈化過(guò)濾器即可達(dá)到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在生產(chǎn)環(huán)境內(nèi)揚(yáng)起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。

　　凈化工程防止微塵污染應(yīng)遵守下列四項(xiàng)基本原則：

　　1）不攜入

　　在凈化工程內(nèi)不攜入微粒子的方法有：作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

　　通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。機(jī)器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

　　2）不發(fā)生

　　在控制最大污染源--人在凈化工程內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

　　3）不儲(chǔ)備

　　若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，凈化工程內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。

　　4）排除/除去

　　在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機(jī)臺(tái)中，為了不讓凈化工程內(nèi)產(chǎn)生微粒子，因此直接做對(duì)外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對(duì)排氣的對(duì)策如下：由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的，但會(huì)伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是絕對(duì)理想的對(duì)策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向凈化車間外排氣，而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到凈化車間內(nèi)之對(duì)策。