為防止外界污染侵入 潔凈車間應該怎么做
發(fā)布時間:2018-03-15 瀏覽次數(shù):2410
例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多,當相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故,相對濕度在50%時易生銹。
然而對于大部分潔凈車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應符合以下原則:
1.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
3.潔凈車間的壓力要高于非潔凈車間的壓力。
壓力差的維持依靠新風量,這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風量通過凈化工程的各種縫隙時的阻力。
潤德持有空氣凈化工程專業(yè)承包二級資質,榮獲ISO環(huán)境管理體系認證、ISO質量管理體系認證”,技術、施工實力雄厚,提供設計、工藝、材料、環(huán)境、質量、服務六重保障,為企業(yè)實施專業(yè)的、高水平的凈化工程,建設高質量的潔凈車間,獲得企業(yè)的廣泛認可。
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