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 　　潔凈車間內(nèi)的溫濕度對(duì)產(chǎn)品的生產(chǎn)有著至關(guān)重要的作用，如果車間的相對(duì)濕度控制不好，就有可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降，而且還會(huì)帶來一系列的影響。下面潤德凈化就來為大家講解一下有關(guān)潔凈車間溫濕度問題。

　　1、細(xì)菌生長。細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對(duì)濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過30%時(shí)就可以增長。而相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低，所以潔凈室相對(duì)濕度要控制在一定范圍。

　　2、潔凈車間工作人員感到室溫舒適的范圍。對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。如果潔凈車間濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥，皮膚皸裂，呼吸道不適以及情感上的不快，從而影響工作。

　　3、潔凈車間相對(duì)濕度控制不好，出現(xiàn)靜電荷。當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí)，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時(shí)間。潔凈車間相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

　　4、如果潔凈車間相對(duì)濕度控制不好，容易造成潔凈車間里的金屬腐蝕。很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng)；另一種金屬，例如氧化銅，是不具有保護(hù)能力的。

　　5、在相對(duì)濕度較高的潔凈室環(huán)境中，濃縮水形的毛細(xì)管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質(zhì)表面的黏附力。這種效應(yīng)稱為凱爾文濃縮，就是當(dāng)相對(duì)濕度小于50%時(shí)并不重要，但當(dāng)相對(duì)濕度在70%左右時(shí)，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

　　6、在半導(dǎo)體潔凈車間中最迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的。這樣的潔凈工程相對(duì)濕度和溫度對(duì)于光刻膠穩(wěn)定性以及精確的尺寸控制都是很關(guān)鍵的。