潔凈車間空氣循設(shè)計方案
發(fā)布時間:2017-09-05 瀏覽次數(shù):4401
潔凈車間要確定設(shè)計方案,必須先對房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮,發(fā)塵量大的車間一般不采用地面送風(fēng)形式,潔凈度要求高的車憚應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。所以空氣循環(huán)設(shè)計要考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工要求,再決定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。
潔凈車間工程中空氣循環(huán)特點可以分為三種設(shè)計類型:
第一種循環(huán)空調(diào)機配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)形式在小規(guī)模低等級要求的潔凈車間裝修工程設(shè)計中被廣泛應(yīng)用,對于大面積高等級的潔凈車間工程則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種循環(huán)風(fēng)機配合濕式密封系統(tǒng)形式的設(shè)計可以滿足集成電路制造潔凈車間工程大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室工程的風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時進(jìn)行系統(tǒng)升級和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的設(shè)計方案。
參照設(shè)計慣例和房間工作參數(shù)進(jìn)行選擇氣流形式。為了保證氣流幾乎不受干擾,就必須進(jìn)行前期的縝密設(shè)計,必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。房間里必須保持正壓,防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi),為了獲得所要求的房間壓力,必須補充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。根據(jù)所要運行的車間,提供必須的給排水設(shè)備,送風(fēng)設(shè)備和電源,這些設(shè)備和所涉及的區(qū)域必須易于使用和設(shè)計, 不得有礙于空氣凈化系統(tǒng)。潔凈車間頂棚,墻面和地板的材料選擇上必須是不宜破裂,不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的材料,另外根據(jù)房間不同的工作條件,還要考慮材料的化學(xué)業(yè)性能是否穩(wěn)定。必要時還得安置一些輔助設(shè)備,如新風(fēng)口的空氣指示儀,隔斷上的傳遞窗等,這些設(shè)備必須適合房間的要求,并且必須真正了解其功能。人員和貨物是無塵室的主要塵埃來源,因此潔凈車間的循環(huán)系統(tǒng)對于人和貨物的污染控制也要做出措施。
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