內(nèi)蒙古凈化車間溫濕度的控制要求
發(fā)布時(shí)間:2017-07-27 瀏覽次數(shù):3237
內(nèi)蒙古凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定,在滿足企業(yè)加工工藝需求的的前提之下,車間內(nèi)員工工作的舒適感也要考慮。隨著空氣潔凈度要求的提高,隨著工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,因此,內(nèi)蒙古凈化車間必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí),才能滿足生產(chǎn)工藝需求。
內(nèi)蒙古凈化車間,在電子企業(yè)內(nèi)大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)濕度值也不宜過高,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
然而對(duì)于大部分內(nèi)蒙古凈化車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。內(nèi)蒙古凈化車間壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1、潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
內(nèi)蒙古凈化車間壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過內(nèi)蒙古凈化車間的各種縫隙時(shí)的阻力。
對(duì)于亂流潔凈室,由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
2.吹過內(nèi)蒙古凈化車間水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
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