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　　凈化車(chē)間是產(chǎn)品的生產(chǎn)基地，車(chē)間內(nèi)環(huán)境的好壞，直接影響著產(chǎn)品的品質(zhì)。隨著生產(chǎn)技術(shù)高科技的提升，凈化車(chē)間環(huán)境的溫濕度控制也非常重要，適宜的生產(chǎn)環(huán)境才能創(chuàng)造出與時(shí)代相適應(yīng)的工業(yè)產(chǎn)品。濕度的控制是凈化車(chē)間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對(duì)濕度是凈化車(chē)間運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。

　　近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過(guò)程，相對(duì)濕度有一系列可能使凈化車(chē)間總體表現(xiàn)下降的因素，其中包括：細(xì)菌生長(zhǎng);工作人員感到室溫舒適的范圍;出現(xiàn)靜電荷;金屬腐蝕;水汽冷凝;光刻的退化;吸水性。

　　細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類(lèi)感覺(jué)舒適的適度范圍。濕度過(guò)高會(huì)使人覺(jué)得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

　　高濕度實(shí)際上減小了凈化車(chē)間表面的靜電荷積累──這是大家希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源。當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)50%時(shí)，靜電荷開(kāi)始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí)，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。

　　相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿(mǎn)意的折中，半導(dǎo)體凈化車(chē)間一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。到目前為止，在半導(dǎo)體凈化車(chē)間中最迫切需要適當(dāng)控制的是光刻膠的敏感性。由于光刻膠對(duì)相對(duì)濕度極為敏感的特性，它對(duì)相對(duì)濕度的控制范圍的要求是最嚴(yán)格的水準(zhǔn)。

　　很多化學(xué)反應(yīng)的速度，包括腐蝕過(guò)程，將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車(chē)間周?chē)諝庵械谋砻娑己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度可以使反應(yīng)加速。潔凈車(chē)間的濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時(shí)也要看其房間的大小例如計(jì)量室、光柵刻線(xiàn)室、精密儀器制造和裝配車(chē)間等。