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電子光學(xué)車(chē)間凈化

電子廠(chǎng)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)需注意哪些事項(xiàng)
發(fā)布時(shí)間:2016-10-21   瀏覽次數(shù):5642

文章摘要:電子廠(chǎng)凈化車(chē)間其主要特點(diǎn):1、車(chē)間面積大;2、多變性;電子光學(xué)行業(yè)技術(shù)革新快,生產(chǎn)工藝變化,車(chē)間平面布局也隨之變化,因此在設(shè)計(jì)凈化車(chē)間時(shí)應(yīng)注意平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。凈化車(chē)間除有一般給排水要求外,對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。

  電子廠(chǎng)凈化車(chē)間其主要特點(diǎn):1、車(chē)間面積大;2、多變性;電子光學(xué)行業(yè)技術(shù)革新快,生產(chǎn)工藝變化,車(chē)間平面布局也隨之變化,因此在設(shè)計(jì)凈化車(chē)間時(shí)應(yīng)注意平面上不宜有固定的分隔,特別是很小的分隔。

  電子廠(chǎng)凈化車(chē)間設(shè)計(jì)需注意事項(xiàng)

  (1)平面由工藝決定,電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的工藝布局應(yīng)適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性,滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求;

  (2)主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系;

  (3)大型電子廠(chǎng)凈化車(chē)間常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造;

  (4)應(yīng)考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求,設(shè)置必要的運(yùn)輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口;

  (5)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間按二級(jí)耐火等級(jí)設(shè)計(jì);

  (6)特種氣體的儲(chǔ)存和分配間應(yīng)有耐火隔墻與凈化車(chē)間分開(kāi),該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開(kāi)的,氣瓶與周?chē)鷺?gòu)筑物或圍欄之間的距離應(yīng)大于3M,儲(chǔ)存區(qū)設(shè)置的雨篷應(yīng)不低于3.5M;

電子廠(chǎng)凈化車(chē)間

  (7)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間的裝飾材料不得采用釋放對(duì)電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料;

  (8)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間允許設(shè)空氣吹淋室,這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應(yīng)與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按最大班人數(shù)為30人一間設(shè)計(jì),當(dāng)工作人員超過(guò)5人時(shí),應(yīng)設(shè)旁門(mén),當(dāng)人數(shù)太多或?yàn)榱丝s短通過(guò)時(shí)間,也可設(shè)遂道式吹淋室;

  (9)對(duì)于潔凈等級(jí)高的潔凈車(chē)間,為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性,照明燈具采用凈化淚珠形燈具;

  (10)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境,以便抑制靜電的產(chǎn)生,將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除;

  (11)電子廠(chǎng)凈化車(chē)間有對(duì)防微振的特殊要求,在廠(chǎng)地環(huán)境上應(yīng)避開(kāi)振動(dòng)源;

  (12)凈化車(chē)間除有一般給排水要求外,對(duì)超大規(guī)格集成電路的用水也有標(biāo)準(zhǔn)。

電子廠(chǎng)凈化車(chē)間


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