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電子光學(xué)車(chē)間凈化
建設(shè)凈化車(chē)間為何是必要的
發(fā)布時(shí)間:2016-06-15 瀏覽次數(shù):4586
現(xiàn)代化的科學(xué)實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)活動(dòng),對(duì)空氣潔凈度的要求主要是從加工的精密化、產(chǎn)品的微型化、產(chǎn)品的高純度、產(chǎn)品的高可靠性四個(gè)方面提出來(lái)的,建設(shè)凈化車(chē)間是有必要的。
加工的精密化。現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進(jìn)入到亞微米量級(jí),而且正在向著更小的量級(jí)發(fā)展:利用分子束外延技術(shù)已可按一個(gè)一個(gè)原子層來(lái)生產(chǎn)單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對(duì)半導(dǎo)體材料進(jìn)行一個(gè)一個(gè)原子的刻蝕剝離等等。因此,科學(xué)界提出了進(jìn)入原子級(jí)加工的設(shè)想。
產(chǎn)品的微型化。原來(lái)體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現(xiàn)在縮減到零點(diǎn)幾立方厘米。其中,集中電路的圖形線(xiàn)距已小到不足1um 一個(gè)電子元件的二氧化硅保護(hù)膜厚為0.5um,這類(lèi)產(chǎn)品須在凈化車(chē)間中生產(chǎn).
產(chǎn)品的高純度。由過(guò)去認(rèn)為很純的“化學(xué)純”進(jìn)入今天“電子純”“超純”時(shí)代的藥品、試劑,以及各種超純材料,都是在高純度基礎(chǔ)上才能使原材料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。
產(chǎn)品的可靠性。高可靠性對(duì)于電子化自動(dòng)化時(shí)代的產(chǎn)品,對(duì)于確保人的安全的無(wú)菌操作,對(duì)于分子生物學(xué)的遺傳工程等都有著特殊重要的意義。
顯然,在上述四種情況中,如果有微粒(固態(tài)的或者液態(tài)的)進(jìn)入產(chǎn)品,這種微粒就可能構(gòu)成障礙、短路、雜質(zhì)源和潛在缺陷。上述四種要求越高,則允許存在于環(huán)境空氣中的微粒數(shù)量越少,也就是潔凈程度越高。這是建設(shè)凈化車(chē)間的必要性。
空氣潔凈技術(shù)是一門(mén)新的技術(shù),在國(guó)際上也只是在20世紀(jì)50年代中期后才開(kāi)始發(fā)展。我國(guó)在50年代末60年代初就已接觸這一技術(shù),起步的時(shí)間并不晚。凈化技術(shù)由軍工領(lǐng)域逐步轉(zhuǎn)移到民用領(lǐng)域,由單純的精密工業(yè)應(yīng)用廣泛進(jìn)入到許多行業(yè)的應(yīng)用,凈化車(chē)間也越來(lái)越多。
由于凈化技術(shù)的專(zhuān)業(yè)性,實(shí)施凈化工程,建設(shè)凈化車(chē)間,要選擇持有相關(guān)資質(zhì)證明、實(shí)力雄厚的凈化工程公司。
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