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 　 所謂的凈化工程就是為了使控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計施工過程即可稱為凈化工程。凈化工程可以分為亂流式 (Turbulent Flow)、層流式(Laminar)。

　　1、亂流式

　　采用亂流式的凈化工程，空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于凈化車間等級1,000-100,000級。

　　優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高凈化車間等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

　　2、層流式

　　采用層流式的凈化工程，層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其凈化車間等級為Class1~100。其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式凈化工程：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構(gòu)造簡單，運轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式凈化工程：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構(gòu)造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　  復合式(Mixed Type)：復合式凈化工程為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部凈化車間超潔凈之環(huán)境。