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千級無塵室凈化工程如何防止微粒子污染
發(fā)布時間:2016-04-25   瀏覽次數(shù):3075

文章摘要:微粒子污染是半導(dǎo)體制程中最關(guān)鍵和最基本的問題。在千級無塵室凈化工程實際的生產(chǎn)現(xiàn)場,一般由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊會揚起少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染,造成產(chǎn)品良率降低甚至報廢。千級無塵室凈化工程該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列幾項基本原則。
  微粒子污染是半導(dǎo)體制程中最關(guān)鍵和最基本的問題。在千級無塵室凈化工程實際的生產(chǎn)現(xiàn)場,一般由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時所接觸的零件材料的發(fā)塵等,在制造品周邊會揚起少許的微粒子,因而造成了元件清潔面的粒子污染,造成產(chǎn)品良率降低甚至報廢。千級無塵室凈化工程該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列幾項基本原則。

 

  1、不攜入

  千級無塵室凈化工程不攜入微粒子的方法有:作業(yè)員進(jìn)入千級無塵室前,機臺、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理;進(jìn)入千級無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。通過風(fēng)淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后,才能進(jìn)入千級無塵室。機器及材料帶進(jìn)千級無塵室前,應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下,經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入千級無塵室。

  2、不發(fā)生

  在控制最大污染源—人在千級無塵室內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時,也應(yīng)控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。千級無塵室凈化工程中,因物品在移動時,所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵,而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對策:減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài);采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì);采用發(fā)塵小的潤滑油;機臺應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

  3、不儲備

  若能徹底實施“不攜入”技術(shù),千級無塵室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動,在廣大的千級無塵室內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。千級無塵室凈化工程要保證氣流的流通路徑暢通無阻,因為在流通路徑中有障礙物的話,容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區(qū)域,使得附近已發(fā)生的微粒子無法快速排除而長時間漂流在無塵室內(nèi),而一部分會附著在周邊機器設(shè)備的表面而引起污染。

  控制氣流也可防止微粒子累積,但對于帶電表面的微粒累積就無法防止。實施凈化工程時,為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著,通常在無塵室內(nèi)會使用帶電程度在數(shù)十伏以下的導(dǎo)電性材料。而對于制造品本身的帶電,則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料,并藉由除電裝置進(jìn)行除電。


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