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　　凈化車間現如今并不陌生，在很多行業(yè)，為了達到一個潔凈無污染的空間，都會選擇設計建設一個能控制潔凈度和溫濕度的空間，這樣的空間能夠保證產品的生產制造，這樣的空間我們稱之為凈化車間。那么，凈化車間對濕度的控制有哪些要求呢?

 

　　近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程，相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現下降的因素，其中包括：細菌生長、工作人員感到室溫舒適的范圍;、出現靜電荷、金屬腐蝕;水汽冷凝、光刻的退化、吸水性。

　　濕度控制是凈化車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是凈化車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導體凈化車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。

　　細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會讓人感覺干燥，皮膚破裂，呼吸道不適以及情感上的不快。

　　很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，將隨著相對濕度的增高而加快。所有暴露在凈化車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當這些表面是由可以與水反應的薄金屬涂層組成時，高濕度可以使反應加速。幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成一層保護型的氧化物，并阻止進一步的氧化反應;但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有保護能力的，因此，在高濕度的環(huán)境中，銅制表面更容易受到腐蝕。在相對濕度較高的環(huán)境中，濃縮水形的毛細管力在顆粒和表面之間形成了連接鍵，可以增加顆粒與硅質表面的黏附力。相對濕度小于50%時并不重要，但當相對濕度在70%左右時，就成為顆粒之間黏附的主要力量。

　　很多大型的凈化工程中，對于凈化區(qū)和周邊區(qū)的潔凈度等級要求會有些不同，這樣不僅僅能夠發(fā)揮凈化車間的作用，又能夠降低凈化工程成本。